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晶圓真空退火爐主要用于半導體晶圓在高真空環(huán)境下的低溫退火。

尺寸:4-8英寸晶圓

晶圓舟:標準25片

控溫精度:±3℃

升溫速率:10℃/min

潔凈等級:百級潔凈

真空度:5*10-4 Pa

使用溫度:200-550度


詳情:

規(guī)格參數

  • 行業(yè)分類:

    機械及行業(yè)設備/電子產品制造設備/電子元件成型機

  • 產品類別:

  • 品  牌:

    晨立

  • 規(guī)格型號:

  • 庫  存:

    100

  • 生 產 商:

    晨立

  • 產  地:

    中國山東省青島市

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