青島晨立電子有限公司
賣家服務時間
9:00--17:00
用途：
高真空退火爐供大規模集成電路、MEMS 生產線用做6"硅片的合金、氧化、退火、燒結、擴散等工藝使用。同時也可下沉工藝，完成4寸wafer 的相應工藝。
一、設備結構:
1、操作方式:左(右)手操作方式
2、硅片尺寸:圓形6寸片
3、工藝布局:滿足客戶工藝要求
4、自動化程度:工控機控制系統自動控制工藝流程
5、送取片方式:手動進出舟。
6、外形:主機1臺，主機架為臥式兩管。
二、主要技術參數:
1、加熱爐管有效口徑:滿足6英寸硅片。可向下兼容5寸和4寸硅片。
2、工作溫度范圍: 200~800℃
3、恒溫區長度及精度: 600mm，
4、控制方式:由工控機統一管理工藝
5、真空度：2*10-4 Pa
規格參數
行業分類：
機械及行業設備/電子產品制造設備/其他電子產品制造設備
產品類別：
品 牌：
晨立
規格型號：
庫 存：
100
生 產 商：
晨立
產 地：
中國山東省青島市
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