廣州金程科學儀器有限公司
賣家服務時間
9:00--17:00
價格：
行業(yè)分類：機械及行業(yè)設備/商業(yè)專用設備/其他商業(yè)專用設備
產品類別：實驗室儀器
品 牌：雅馬拓YAMATO
規(guī)格型號：V1000/V1000X/V1000XS
庫 存：300
生 產 商：雅馬拓YAMATO
產 地：中國廣東省廣州市
廣州金程科學儀器公司供應的雅馬拓YAMATO等離子清洗機V1000/V1000X/V1000XS，13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機，搭載RIE·DP 雙模式。硅晶圓的灰化及蝕刻、基板表面污垢處理、IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理、半導體相關部品的電子材料的干式清洗、自然氧化膜·有機物去除、界面活性處理、表面污染物去除。
等離子清洗機特點：
硅晶圓的灰化及蝕刻。
基板表面污垢處理。
IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理。
半導體相關部品的電子材料的干式清洗。
自然氧化膜·有機物去除。
界面活性處理。
表面污染物去除。
等離子清洗機技術參數(shù)：
型號 | V1000 | V1000X | V1000XS |
等離子模式 | DP/RIE | ||
高頻電源 | 13.56MHz | ||
輸出功率 | 1000W | 1500W | |
有效電極尺寸 | W280xD280mm | W300xD300mm | W400xD375mm |
電極 | 平行平板 | 2段電極（獨立） | 平板（多目的） |
反應氣體 | 聚合控制器2系統(tǒng)（填充氣路另行安裝） | ||
真空泵（標配） | 約1000L/min | 約1500L/min | 1500L/min |
安全裝置 | 門檢測開關、連鎖機構、緊急停止開關、溫度過升防止器等 | ||
雅馬拓YAMATO等離子清洗機V1000/V1000X/V1000XS信息由廣州金程科學儀器有限公司為您提供，如您想了解更多關于等離子清洗機的信息，歡迎來電咨詢。
規(guī)格參數(shù)
行業(yè)分類：
機械及行業(yè)設備/商業(yè)專用設備/其他商業(yè)專用設備
產品類別：
實驗室儀器
品 牌：
雅馬拓YAMATO
規(guī)格型號：
V1000/V1000X/V1000XS
庫 存：
300
生 產 商：
雅馬拓YAMATO
產 地：
中國廣東省廣州市
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