廣州金程科學(xué)儀器有限公司
賣家服務(wù)時間
9:00--17:00
價格:
行業(yè)分類:機(jī)械及行業(yè)設(shè)備/商業(yè)專用設(shè)備/其他商業(yè)專用設(shè)備
產(chǎn)品類別:實驗室儀器
品 牌:雅馬拓YAMATO
規(guī)格型號:V1000X
庫 存:300
生 產(chǎn) 商:雅馬拓YAMATO
產(chǎn) 地:中國廣東省廣州市
廣州金程科學(xué)儀器公司供應(yīng)的雅馬拓YAMATO等離子清洗機(jī)V1000/V1000X/V1000XS,13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機(jī),搭載RIE·DP 雙模式。硅晶圓的灰化及蝕刻、基板表面污垢處理、IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理、半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗、自然氧化膜·有機(jī)物去除、界面活性處理、表面污染物去除。
等離子清洗機(jī)特點:
硅晶圓的灰化及蝕刻。
基板表面污垢處理。
IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理。
半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗。
自然氧化膜·有機(jī)物去除。
界面活性處理。
表面污染物去除。
等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù):
型號 | V1000 | V1000X | V1000XS |
等離子模式 | DP/RIE | ||
高頻電源 | 13.56MHz | ||
輸出功率 | 1000W | 1000&1500W | |
有效電極尺寸 | W280xD280mm | W300xD300mm | W400xD375mm |
電極 | 平行平板 | 2段電極(獨(dú)立) | 平板(多目的) |
反應(yīng)氣體 | 聚合控制器2系統(tǒng)(填充氣路另行安裝) | ||
真空泵(標(biāo)配) | 約1000L/min | 約1500L/min | 1000&1500L/min |
安全裝置 | 門檢測開關(guān)、連鎖機(jī)構(gòu)、緊急停止開關(guān)、溫度過升防止器等 |
雅馬拓YAMATO等離子清洗機(jī)V1000/V1000X/V1000XS信息由廣州金程科學(xué)儀器有限公司為您提供,如您想了解更多關(guān)于等離子清洗機(jī)的信息,歡迎來電咨詢。
規(guī)格參數(shù)
行業(yè)分類:
機(jī)械及行業(yè)設(shè)備/商業(yè)專用設(shè)備/其他商業(yè)專用設(shè)備
產(chǎn)品類別:
實驗室儀器
品 牌:
雅馬拓YAMATO
規(guī)格型號:
V1000X
庫 存:
300
生 產(chǎn) 商:
雅馬拓YAMATO
產(chǎn) 地:
中國廣東省廣州市
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