產(chǎn)品名稱：淺槽隔離拋光液/STI Slurry拋光液/淺溝槽隔離化學(xué)機械拋光液

產(chǎn)品簡介：STI Slurry 適用于集成電路當(dāng)中的銅互連工藝制程中銅的去除和平坦化。

具有高的銅去除速率，碟型凹陷可調(diào)，低缺陷等特性?？蓱?yīng)用于邏輯芯片以及3D NAND和DRAM芯片等量產(chǎn)使用。清除集成電路中銅拋光后表面的拋光顆粒和化學(xué)物殘留，以防銅表面腐蝕，降低表面缺陷。

適用范圍：

單晶硅、多晶硅的研磨拋光，存儲器制程和背照式傳感器(BSI)制程等。可定制選擇穩(wěn)定的選擇比，去除速率，對氧化物/氮化物的選擇比。硅精拋液系列具有低缺陷的優(yōu)點。BSI拋光液系列具有理想的硅和二氧化硅去除速率和選擇比。

吉致電子STI拋光液使用方法：

1.可根據(jù)拋光操作條件用去離子水進行5-20倍稀釋。

2.稀釋后，粗拋時調(diào)節(jié)PH11左右，精拋時調(diào)節(jié)PH9.5左右。pH調(diào)節(jié)可以用10%的鹽酸、醋酸、檸檬酸、KOH或氨水在充分?jǐn)嚢柘侣尤搿?/p>

3.循環(huán)拋光可以用原液。

吉致電子STI拋光液儲存方法：

1.貯存時應(yīng)避免曝曬，貯存溫度為5-35℃

2.低于0℃以上儲存，防止結(jié)冰，在無度以下因產(chǎn)生不可再分散結(jié)塊而失效。

3.避免敞口長期與空氣接觸。

吉致電子STI拋光液價格：

吉致電子的淺槽隔離拋光液（STI Slurry）生產(chǎn)技術(shù)是引進國外生產(chǎn)技術(shù)和設(shè)備，特殊化學(xué)配方制備而成。吉致電子拋光液品質(zhì)可以媲美進口同類產(chǎn)品。

本土化生產(chǎn)使得吉致電子CMP拋光液產(chǎn)品交貨周期快，品質(zhì)好，拋光液價格親民。

無錫吉致電子25年研發(fā)生產(chǎn)——淺槽隔離拋光液/STI Slurry拋光液/淺溝槽隔離化學(xué)機械拋光液/淺溝槽隔離Slurry/淺槽隔離研磨拋光液/STI淺槽隔離平坦化拋光液slurry/淺溝槽隔離拋光液拋光漿料slurry/吉致電子STI拋光液

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