項目名稱

蘇州萬科環境工程制備超純水項目

工藝選擇

EDI出水+拋光樹脂

工藝原理

陰陽離子吸附制備超純水

半導體行業超純水制備

超純水通常指的是電阻率能夠達到18 MΩ*cm的水，是既將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。

起初是美國科技界為研制超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術生產出來的水，如今已廣泛應用在生物、醫藥、汽車等領域。

半導體行業中的超純水，又名UP水，主要是半導體原材料生產加工、檢測和半導體器件的制備用水。電子元器件對超純水使用水質要求高。市場環境變化使得元器件尺寸縮小與精細度上升，使得超純水水質與水量的技術指標不斷提升。

超純水制備主要包括以下三個階段，即初步吸附過濾階段、反滲透凈化階段和樹脂離子交換階段。

其中，離子交換即是將水中的正離子與離子交換樹脂中的H+離子交換，水中的負離子與離子交換樹脂中的OH-離子交換，從而達到純化水的目的。具體說來主要有以下步驟：

1、原水：可用自來水或普通蒸餾水或普通去離子水作原水。

2、預處理系統：原水箱、原水泵、殺菌劑、石英砂過濾器、活性炭過濾器、換熱器、阻垢劑系統。

3、雙級反滲透系統：保安過濾器、高壓泵RO、反滲透系統。反滲透膜可濾除95%以上的電解質和大分子化合物，包括膠體微粒和病毒等。由于絕大多數離子的去除，使離子交換柱的使用壽命大大延長。

4、EDI系統：EDI的作用就是通過除去電解質（包括弱電解質）的過程，將水的電阻率從0.05～1.0MΩ·cm提高到5～16MΩ·cm。

5、拋光樹脂：無化學析出的核子級樹脂，去除純水中殘余的微量帶電離子及弱電解質，使水質達到18MΩ·cm以上。

6、終端超濾：能有效地去除水中的微粒、膠體、細菌、熱源和有機物力。是整套系統最后的 ，確保產出的高純水不受二次污染。

項目概況

科海思根據業主具體需求，結合項目整體實際情況，采用EDI+超純水拋光樹脂工藝，靈活運用離子交換技術，利用兩端電極高壓使水中帶電離子移動，并配合離子交換樹脂加速離子移動去除，達到水純化的目的。

在這個工藝流程中，經過離子交換出水水質的高低主要取決于離子交換樹脂的質量和交換柱內水與樹脂的交換效率。

科海思采用超純水拋光樹脂MB-106UP，它是由核子級強酸型陽離子Tulsimer ? T-46Li 及核子級強堿型陰離子 Tulsimer ? A-33OH 以1:2 體積比的劑量比例 , 預先混合的混床級離子交換樹脂,專門提供給超純水系統拋光用。它具有交換容量及優越的物理特性。

整個項目單罐運行，出水電導率做到了18MΩ以上，并且運行效果非常穩定。

Tulsimer ? MB-106UP樹脂參數