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濕電子化學品是電子工業中的關鍵性基礎化工材料,主要用于晶圓、面板、硅片電池制造加工過程中的清洗、光刻、顯影、刻蝕、去膠等濕法工藝制程。

電子級嚴酸是半導體制造過程中應用的化學品之一,用于硅片的sc2清洗工藝中,用于去除及清洗硅片表面的金屬,工業級是由氫氣及氣在合成爐中制得,但在合成過程中,鹽摻雜有很多雜質離子,這些雜質離子必須去除才能達到半導體行業的要求。

目前電子級的主要生產工藝為蒸發吸收,工業級蒸發出高純氯化氫氣體,再與超純水進行混合吸收,蒸發得到氯化氫氣體的雜質含量決定了電子級鹽的純度等級。工業級鹽中大多數雜質由于其沸點與鹽水溶液有較大差距,可通過蒸餾過程去除,砷是電子級鹽的重要指標,砷在鹽中以氯化砷形態存在,氯化砷由于其沸點與鹽接近,難以在蒸發過程分離,造成產品中砷含量高,砷在鹽中有三氯砷和五氯化砷兩種形態存在,五氯化砷沸點高于三氯砷,對鹽中砷的價態進行轉變,有利于降低電子級鹽中砷的含量。三氯砷向五氯化砷的轉化反應過程較為緩慢,且反應的不充分,得到的鹽純度不夠高,為此我們提出一種電子級鹽除砷裝置及方法。

使用混床樹脂進行處理,這種樹脂具有低離子和金屬殘留特性、低TOC溶出物,并能提供高純度的出水。混床樹脂具有1:2化學計量當量的陽離子和陰離子交換容量,且無抱團現象,確保了其在首個周期內就能提供優異的性能。這種方法適用于高純水精處理




詳情:

規格參數

  • 行業分類:

    化工/合成樹脂/離子交換樹脂

  • 產品類別:

  • 品  牌:

  • 規格型號:

    15072572300

  • 庫  存:

  • 生 產 商:

  • 產  地:

    中國北京市豐臺區

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