濕電子化學(xué)品是電子工業(yè)中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料，主要用于晶圓、面板、硅片電池制造加工過程中的清洗、光刻、顯影、刻蝕、去膠等濕法工藝制程。

電子級嚴(yán)酸是半導(dǎo)體制造過程中應(yīng)用的化學(xué)品之一，用于硅片的sc2清洗工藝中，用于去除及清洗硅片表面的金屬，工業(yè)級是由氫氣及氣在合成爐中制得，但在合成過程中，鹽摻雜有很多雜質(zhì)離子，這些雜質(zhì)離子必須去除才能達到半導(dǎo)體行業(yè)的要求。

目前電子級的主要生產(chǎn)工藝為蒸發(fā)吸收，工業(yè)級蒸發(fā)出高純氯化氫氣體，再與超純水進行混合吸收，蒸發(fā)得到氯化氫氣體的雜質(zhì)含量決定了電子級鹽的純度等級。工業(yè)級鹽中大多數(shù)雜質(zhì)由于其沸點與鹽水溶液有較大差距，可通過蒸餾過程去除，砷是電子級鹽的重要指標(biāo)，砷在鹽中以氯化砷形態(tài)存在，氯化砷由于其沸點與鹽接近，難以在蒸發(fā)過程分離，造成產(chǎn)品中砷含量高，砷在鹽中有三氯砷和五氯化砷兩種形態(tài)存在，五氯化砷沸點高于三氯砷，對鹽中砷的價態(tài)進行轉(zhuǎn)變，有利于降低電子級鹽中砷的含量。三氯砷向五氯化砷的轉(zhuǎn)化反應(yīng)過程較為緩慢，且反應(yīng)的不充分，得到的鹽純度不夠高，為此我們提出一種電子級鹽除砷裝置及方法。

使用混床樹脂進行處理，這種樹脂具有低離子和金屬殘留特性、低TOC溶出物，并能提供高純度的出水。混床樹脂具有1:2化學(xué)計量當(dāng)量的陽離子和陰離子交換容量，且無抱團現(xiàn)象，確保了其在首個周期內(nèi)就能提供優(yōu)異的性能。這種方法適用于高純水精處理