電子級雙氧shui是大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝中所必需的電子化工原料，工業(yè)雙氧shui 中含有一些雜質(zhì)離子和少量的有機雜質(zhì)，影響產(chǎn)品的質(zhì)量，須采用高抗氧化性的精制陽、陰樹脂去除陽陰雜質(zhì)離子  

電子級雙氧shui作為半導(dǎo)體和電子行業(yè)的關(guān)鍵氧化劑，因其高純度和強氧化性在制造和加工過程中發(fā)揮著不可或缺的作用。本文將深入探討其性質(zhì)、制備方法和廣泛的應(yīng)用場景。

電子級雙氧shui，化學(xué)式H2O2，是一種無色透明液體，具有相對分子質(zhì)量34.01 g/mol，密度1.450 g/mL，沸點150.2℃，熔點-0.43℃。其高純度通常達到99.9999%，滿足半導(dǎo)體和電子行業(yè)對純凈氧化劑的嚴(yán)格需求。

電子級雙氧shui的制備主要采用安替福爾反應(yīng)法，通過將稀硫 和 按照一定比例混合，加熱至特定溫度，再通過蒸餾純化，確保最終產(chǎn)物的高純度。

在半導(dǎo)體行業(yè)中，電子級雙氧shui用于清洗和去除表面污染物，如有機物、金屬離子和硅化物，是清洗工藝的關(guān)鍵步驟。此外，它還應(yīng)用于蝕刻、氧化和鍍膜等工藝中，確保半導(dǎo)體器件的性能和質(zhì)量。

電子行業(yè)同樣依賴電子級雙氧shui，用于生產(chǎn)電池和電子元件。在這一領(lǐng)域，它用于清洗和去除電子元件表面的污垢和油脂，保證電子元件性能和品質(zhì)。電子級雙氧shui在高端電池產(chǎn)品制造中亦有應(yīng)用。

雙氧shui中陰陽離子的去除方法主要包括使用離子交換樹脂進行提純。?

一種高效安全去除雙氧shui中陰離子的方法是將常溫工業(yè)級雙氧shui通過冷卻裝置冷卻至0~10℃，然后以下進上出的方式依次通過陰離子交換樹脂柱和混合離子交換樹脂柱，控制流速為5~15BV/h。這種方法通過不同型號的陰離子交換樹脂和調(diào)整混合離子交換樹脂柱中陰陽離子交換樹脂的裝填比例，可以有效去除雙氧shui中的陰離子和部分陽離子?1。

另一種方法則是針對雙氧shui中痕量金屬離子的去除。該方法使用預(yù)電子級雙氧shui為原料，首先清洗陽離子交換樹脂 ，然后清洗陰離子交換樹脂。將預(yù)處理后的陰陽離子交換樹脂混合制成混合離子交換樹脂，并通過蠕動泵將雙氧shui通過一組或多組的混合離子交換樹脂柱。通過調(diào)整樹脂比例和清洗步驟，可以制得陰離子≤2ppb、單項金屬離子≤10ppt的超高純電子級雙氧shui