濕電子化學(xué)品，又稱(chēng)超高純?cè)噭┗蚬に嚮瘜W(xué)品，是指主題成分純度大于99.99%，雜質(zhì)離子和微粒數(shù)符合要求的化學(xué)試劑，是重要的晶圓制造材料之一。它作為“工業(yè)味精”處在上下產(chǎn)業(yè)鏈中間的微細(xì)加工制作過(guò)程中，主要功能是清洗和刻蝕，還可以用做光刻膠顯影和去除，同時(shí)也是作為一種關(guān)鍵性的損耗品參與到產(chǎn)業(yè)鏈的上下游。

電子級(jí)化學(xué)品應(yīng)用于晶圓的清洗，光阻劑的移除中，若有雜質(zhì)殘留在晶圓表面，會(huì)影響晶片的良導(dǎo)率，尤其是先進(jìn)制樣（20nm以下）影響較大。電子濕化學(xué)品對(duì)潔凈水的電導(dǎo)率、離子含量、TOC、DO和顆粒物有著特別嚴(yán)格的要求，常用的超純水標(biāo)準(zhǔn)有國(guó)標(biāo)GB/T 1146.1-2003和美標(biāo)ASTM-D5127-13。另外，硼元素是半導(dǎo)體生產(chǎn)中的P型雜質(zhì)，過(guò)量會(huì)使N型硅發(fā)生反轉(zhuǎn)，從而影響電子和空穴的濃度，因此硼元素的監(jiān)控就顯得尤為重要。

在超凈高純化學(xué)試劑溶液中除硼，主要有以下兩種方法：

離子交換法

• 原理：利用特定的離子交換樹(shù)脂（如進(jìn)口Tulsimer CH-99除硼樹(shù)脂）來(lái)吸附溶液中的硼。這種樹(shù)脂上的多羥基胺基團(tuán)能夠與硼酸根離子形成高度穩(wěn)定的絡(luò)合物，從而選擇性地吸附硼元素，即使在低濃度條件下也能展現(xiàn)出高效的吸附能力

• 應(yīng)用：適用于低濃度硼的深度去除，具有高效、可再生等優(yōu)點(diǎn)。在半導(dǎo)體制造、電子、制藥等高科技產(chǎn)業(yè)中，離子交換樹(shù)脂技術(shù)在超純水除硼領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。

• 優(yōu)勢(shì)：操作簡(jiǎn)便，選擇性好，能夠?qū)⑴鹪睾靠刂圃跇O低水平。例如，CH-99除硼樹(shù)脂可以在寬pH條件下從有機(jī)溶劑中去除硼，處理級(jí)別在PPT，更具有良好的再生能力

Tulsimer CH-99 基本參數(shù)

• 主體結(jié)構(gòu)：交聯(lián)聚苯乙烯

• 物理型式：含水球狀

• 官能團(tuán)：胺聚羥基

• 目數(shù)（濕）：16 to 50

• 粒度（95% minm.）：0.3 - 1.2 mm

• 濕度：46±3%

• 反洗穩(wěn)定密度：680 - 720 gm/lit

• 最大溫度穩(wěn)定 ：80℃（175℉）

• 總交換量：0.8 meq/ml

• 平衡硼量：5.7 meq/ml

• 離子型式：氯

性能特點(diǎn)

• 高選擇性：樹(shù)脂上的多羥基胺基團(tuán)與硼酸根離子形成的絡(luò)合物高度穩(wěn)定，能夠選擇性地吸附硼元素，即使在低濃度條件下也能展現(xiàn)出高效的吸附能力

• 高吸附容量：得益于其優(yōu)化的樹(shù)脂結(jié)構(gòu)和功能活性基團(tuán)，CH-99樹(shù)脂能夠?qū)崿F(xiàn)快速的吸附動(dòng)力學(xué)過(guò)程，大大提升硼離子的處理速率和總體吸附容量

• 良好的穩(wěn)定性和耐受性：該樹(shù)脂能在多種共存離子環(huán)境下保持穩(wěn)定吸附效果，不易受到如Na2SO4和CaCl2等常見(jiàn)離子的影響，適應(yīng)性強(qiáng)，且在廣泛應(yīng)用中表現(xiàn)出優(yōu)越的耐用性

• 經(jīng)濟(jì)效益突出：由于其出色的吸附性能和再生能力，CH-99的應(yīng)用可以顯著減少處理時(shí)間、樹(shù)脂用量以及再生過(guò)程中的能源消耗，從而降低運(yùn)營(yíng)成本，提高整體經(jīng)濟(jì)效益

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