東莞市準納光電科技有限公司
賣家服務時間
9:00--17:00
光馳磁控濺射機OWLS -1800鍍膜機
明細介紹：
OWLS-1800是專用于“半導體光學器件”的金屬模式濺射系統，適用于12英寸的晶圓。該濺射系統可以擴展應用范圍（同時雙倍尺寸鍍膜，低溫鍍膜等）
銷售技術楊經理：181-030-45976
特征：
適用于多種晶圓尺寸（12“，10”，8“，6”和4“）
真空晶圓搬運機械手快速清潔的轉移系統
3個雙旋轉圓柱陰極
高反應性等離子體源實現低吸收膜
其他模塊，例如光學厚度監控儀（可選）
適用于EFEM并符合SEMI標準
規格：
真空腔體
裝片室：寬820mm×高1455 mm×深740 mm
運送室：寬1070×高480×深1070mm
工藝室：寬2540×高745×深2285mm
基板夾具
10片（最大12英寸）
基板旋轉滾筒系統
直徑1800 mm×高48 mm, 滾筒式, 10 rpm-100 rpm（可調）
反應源
ICP（電感耦合等離子體）
濺射源
雙旋轉陰極（可選平面靶材）
真空系統
粗抽泵，分子泵，冷阱
性能：
極限壓力
裝片室：10Pa
工藝室：≤5.0 × 10-4Pa
抽氣速率
裝片室，運送室：5分鐘 (從大氣到 10Pa)
工藝室：≤40分鐘(從大氣到5.0×10-3Pa)
工作條件：
設備尺寸
6500 mm (寬) × 6000 mm (深)×3400 mm (高)
電源
3相+G, 380V±5％、125kVA、50/60Hz
水流量
≥195升/分鐘
空氣壓力
0.5 MPa - 0.7 MPa
總重量
約13500 kg
規格參數
行業分類：
機械及行業設備/其他行業專用設備/鍍膜機
產品類別：
品 牌：
光弛
規格型號：
OWLS-1800
庫 存：
1
生 產 商：
光弛
產 地：
中國廣東省東莞市
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