產品用途:

本機適用于硅片、石英晶片、陶瓷片、砷化鉀片及其它硬脆材料的雙面精密研磨加工。

主要特點：

1.變頻器配合異步電機拖動，實現了軟啟動，軟停止，調速穩(wěn)定，沖擊小。

2.采用雙電機同步拖動，太陽輪變速范圍更廣，能適應不同研磨工藝的要求。

3.太陽輪與內齒圈同步抬升，滿足了取放工件及調整游輪嚙合位置的要求。

4.上下研磨盤采用斜齒輪傳動，提高了運轉平穩(wěn)性。

5.采用PLC控制，壓力采用電—氣比例閥閉環(huán)反饋控制，壓力等級設定更方便精確，操作簡單易行，工作可靠穩(wěn)定。

6.本機應用人機界面（PT）采用人機界面終端（NT）顯示與PLC控制，一方面顯示運行參數，另一方面通過其觸摸鍵調整設定各項工藝參數，主操作由普通鍵鈕完成。

7.造型及內部結構充分考慮了可靠性、實用性、互換性和操作和維修的方便性。

品用途:

本機適用于硅片、石英晶片、陶瓷片、砷化鉀片及其它硬脆材料的雙面精密研磨加工。

主要技術參數：

1、研磨盤尺寸：φ1112mm×φ380mm×50mm

2、游星片參數：公制M=2Z=212

英制DP12Z=200

3、游星片數量：5片

4、最大研磨直徑：φ350mm

5、最小研磨厚度：0.40mm/φ125mm

6、最大研磨厚度：30mm

7、下研盤轉速0-50rpm

8、主電機：11kWAC380V1450rpm變頻調速

9、副電機：1.5kWAC380V1400rpm

10、砂泵參數：1/4HP380V

11、氣源：0.5-0.6MPa

12、外形尺寸：2200mm×1600mm×2700mm

13、質量：約5600Kg

主機精度：

1.下研盤端跳：0.06mm

2.研磨盤平面度：0.025mm

3.太陽輪徑向跳動：0.08mm

4.齒圈徑向跳動：0.15mm

加工精度（四個修正輪修研后）：

1.修正輪修研后平行平面度：≤0.004mm

2.加工件平面平行度：≤0.0035/φ125mm

加工能力：

1.單片承片量：17片/φ75mm8片/φ100mm5片/φ125mm

2.整盤承片量：85片/φ75mm40片/φ100mm25片/φ125mm