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工廠轉讓一臺光馳otfc-1800/1550真空鍍膜機

銷售技術楊經(jīng)理:18103045976

石英晶振膜厚計XTC/3+6點式石英晶體傳感器

蒸發(fā)源電子槍2套

離子源23cmRF離子源

排氣系統(tǒng)機械泵+2個擴散泵+Polycold(或2個冷凝泵)

機械性能:

達到壓力7.0×10-5Pa 以下

排氣時間20分(大氣壓~1.3×10-3Pa)

基板溫度最高:350℃

設備尺寸約5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H)

工作條件:

電源3相, 200V, 50/60Hz, 約150kVA

水流量180升/分以上

空氣壓力0.5MPa以上

重量約11200kg

機械特點:

真空室尺寸:Φ600-1800mm

60點/80點式光學膜厚監(jiān)控

使用均勻分布的高離子電流密度的離子源

搭載雙電子槍,多點和環(huán)型坩堝可鍍100層以上

利用自動蒸鍍控制系統(tǒng)實現(xiàn)全自動蒸鍍過程

工件架可選擇鐘罩式或行星式

排氣系統(tǒng)可選擇擴散泵+低溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵



詳情:

規(guī)格參數(shù)

  • 行業(yè)分類:

    機械及行業(yè)設備/其他行業(yè)專用設備/鍍膜機

  • 產(chǎn)品類別:

  • 品  牌:

    光馳

  • 規(guī)格型號:

    otfc-1800

  • 庫  存:

    2

  • 生 產(chǎn) 商:

    光馳

  • 產(chǎn)  地:

    中國江蘇省蘇州市

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