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半導體超純水設備
半導體超純水設備
半導體超純水設備是半導體行業制造出高質量產品的關鍵設備，主要用于清洗、蝕刻、摻雜等關鍵環節。超純水的純度要求極高，甚至達到了ppb(十億分之一)級別。超純水的制備一般可分為前級處理、反滲透(RO)、電滲去離子(EDI)、微過濾(MF)紫外線殺菌、超凈過濾(UF)等階段。
1.半導體超純水設備的重要性
1.1 半導體超純水設備是半導體行業制造出高質量產品的關鍵設備。
1.2 在半導體制造過程中，超純水被用于清洗、蝕刻、摻雜等關鍵環節，其純度要求極高，甚至達到了ppb(十億分之一)級別。
2.半導體超純水設備的制備工藝2.1 超純水的制備一般可分為前級處理、反滲透(RO)、電滲去離子(EDI)、微過濾(MF)、紫外線殺菌、超凈過濾(UF)等階段。
2.2 前級處理的作用是讓原水(一般指城市自來水或地下水等)在進入多層介質過濾器(純化膜組)之前，添加適量的化學試劑(例如次 )以氧化有機物，與高分子聚合物產生凝聚作用，降低原水中的渾濁度及污染指數。
3.半導體超純水設備的回收再利用3.1 在半導體材料或集成電路工廠的超純水系統中，采取水的回收再利用處理，可以降低生產運行成本。
3.2 一般要使水的回收率達到70%以
上。
規格參數
行業分類：
環保/原水處理設備/其他原水處理設備
產品類別：
品 牌：
汾霖
規格型號：
195-3903-0624
庫 存：
200
生 產 商：
中國上海汾霖環保科技有限公司
產 地：
中國上海市浦東新區
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