青島福潤德微電子設備有限公司
賣家服務時間
9:00--17:00
擴散爐主要滿足半導體電力電子器件、大功率集成電路等行業，對所加工的硅
片進行擴散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統、 控制系統、超凈化操作系統等組成。
選用工控機微控方式或者程控方式操作。
擴散爐技術指標：
可處理硅片尺寸：2—12英寸
外型形式：臥式1—4管結構
工作溫度：200℃—1300℃
恒溫區長度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃
單點溫度穩定性、重復性：≤±1℃／24h
溫度斜變：可控升溫速率15℃／min
可控降溫速率：5℃／min
送片裝置：手動推拉
氣路系統：1—5路工藝氣體／管
氣體控制：手動浮子流量計
控制方式：程控
規格參數
行業分類：
機械及行業設備/電子產品制造設備/其他電子產品制造設備
產品類別：
品 牌：
福潤德
規格型號：
庫 存：
生 產 商：
青島福潤德微電子設備有限公司
產 地：
中國山東省青島市
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