北京維意真空技術應用有限責任公司
賣家服務時間
9:00--17:00
MS-450高真空多靶磁控濺射鍍膜機
真空腔室：直徑450?H400mm，1Cr18Ni9Ti優質不銹鋼材質，氬弧焊接，前開門結構；
真空系統：機械泵+分子泵（進口和國產可選）；
極限真空：優于5?10-5Pa（經烘烤除氣后）；
真空抽速：大氣～8?10-4Pa≤30min；
升降基片臺：2～6英寸基片臺，靶基距60～120mm連續在線自動可調，旋轉0～20r/min可調，可加熱至500℃（可選水冷功能），可選配偏壓清洗功能；
磁控靶：直徑3英寸2～4只（可升級成直徑4英寸靶2～3只），兼容直流和射頻，可以濺射磁性材料的靶材；
濺射電源：直流脈沖濺射電源、全自動匹配的射頻濺射電源可任選；
質量流量計：2～3路工藝氣體，可根據工藝要求增加；
膜厚監控儀：可選配國產或進口單水冷探頭膜厚儀；
控制方式：PLC+觸摸屏控制系統，具備漏氣自檢與提示、通訊故障，實現一鍵抽停真空。
規格參數
行業分類：
機械及行業設備/其他行業專用設備/其它
產品類別：
鍍膜機
品 牌：
WAYES-VAC
規格型號：
MS-450
庫 存：
1
生 產 商：
北京維意真空技術應用有限責任公司
產 地：
中國北京市大興區
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