北京維意真空技術應用有限責任公司
賣家服務時間
9:00--17:00
高低溫真空腔探針系統主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環境，以便測量分析溫度變化時芯片性能參數的變化。腔體內被測芯片在真空環境中有效避免易受氧化半導體器件接觸空氣所帶來的測試結果誤差。
極低溫測試:
因為晶圓在低溫大氣環境測試時，空氣中的水汽會凝結在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。
高溫無氧化測試：
當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，探針座位于腔體外部，可以在不破壞真空度的同時調整探針達到理想位置進行測量。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。
規格參數
行業分類：
機械及行業設備/其他行業專用設備/其它
產品類別：
晶圓探針臺
品 牌：
WAYES-VAC
規格型號：
W-TZ4
庫 存：
1
生 產 商：
北京維意真空技術應用有限責任公司
產 地：
中國北京市大興區
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