設備特點：

該款設備是由單端封口小型紅外滑軌爐、 電機調速裝置、高真空機組、進出氣口及操作控制界面組成，內控熱電偶用于控制RTP滑軌爐內的溫度，伺服電機用于控制絲桿的轉動速度達到精確控制爐管（樣品）移除爐膛的速度，從而用于調節爐管（樣品）的降溫速度，與之相反可以得到較快的升溫速率；出氣口通過連接手動擋板閥、波紋管用于對石英艙體內的真空獲取，進氣口除用于通入保護氣體或反應氣體外，還可以用于移出爐膛后通入氣體帶走熱量的快速降溫，以此獲得較高的降溫速率。

結構與原理：

設備組成：單端封口小型紅外滑軌爐、 電機調速裝置、高真空機組、流量控制系統及工控電腦操作系統。

（1）單端封口小型紅外滑軌爐

該加熱系統采用國際先進制造工藝，造型新穎結構合理，爐體爐管可實現自動分離，爐體上下兩半設計，氣動彈簧支撐結構讓操作者可各角度自由打開，安全可靠。爐膽采用高密度純氧化鋁聚輕纖維材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的超高溫保護涂層，除能夠保持其能量的最低損耗，還能增強高溫穩定性，可有效減少熱能損耗。

該滑軌爐加熱系統由紅外燈管加熱，采用內插熱電偶控溫的方式實時顯示石英腔體內部溫度，加熱區長度為370mm，恒溫區長度200mm，確保兩個φ100*100mm的夾具可放置在恒溫區內，為讓樣品在爐管內的中心位置，考慮石英置物架的高度，石英管管徑綜合考慮在210mm，恒溫區200mm內的溫場均勻性控制在±5℃，升溫速率≤30℃/s, 整個石英腔體直接劃出爐膛，樣品降溫過程可在通入一定量保護氣體的條件下快速降溫，平均降溫速率可達到2℃/s， 試樣反應區處在一個密閉的石英腔體內，在完成工藝的同時大大降低了間接污染試樣的可能性。采用石英管堵維持爐內的溫場均勻性及石英艙體內的潔凈度。

（2）電機調速裝置：

伺服電機調速裝置用于控制絲桿的轉動速度，達到控制爐管部分的整體移動速度（含樣件），以此調整快速升降溫的目標速率，電機旋轉速度實時顯示并且精確可控，以獲得精確的移動速度，滿足降溫時工藝參數要求。

（3）高真空機組：

   該高真空機組系統主要配備寧波鮑斯產DRV-10真空機械泵及KYKY的分子泵，空爐、冷態、潔凈、從泵啟動開始到100Pa ≤10min，壓升率≤5Pa/min。

1、 技術指標

        環境溫度：5~32℃

空氣相對濕度：≤85%

工作電壓：AC220V±10%  50/60HZ

功率：1KW

系統整體極限真空度：5.0×10^-5Pa

實驗真空度：5.0×10^-3Pa

2、 主要配置

（1） 機械泵：抽氣速率：4L/S；

                        容油量：1.1L；

                        電機功率：400W；

（2） 分子泵：抽氣速率：100L/S；

                        極限壓強：6×10^-6Pa；

                        啟動時間：＜2min；

                        額定轉速：4300轉/分

                        冷卻方式：環境溫度5-32℃時，風冷；

           （3）復合真空計：測量路數：2路（電阻規、電離規各1路）；

工作模式：手動/自動；

電阻單元參數：

規管型號：ZJ-52T電阻規

測量范圍：1.0×10⁵Pa~1.0×10^-1Pa

有效范圍：2.5×10³Pa~5.0×10^-1Pa

              電離單元參數

規管型號：ZJ-27電離規

可測范圍：5.0Pa~1.0×10^-5Pa

有效范圍：1.0Pa~5.0×10^-5Pa

規管除氣方式：焦耳去氣

（4）流量控制系統：

該系統配置一路流量控制器，用于真空下的氣氛燒結，以及用于降溫過程中的通入一定量的氣體來達到目標降溫速率。

質量流量控制器：流量計標準量程：1000sccm，

                工作溫度：5~45℃；

                工作壓差：0.1~0.5Mpa；

                最大壓力：3Mpa；

                準確度：±1.5% FS±1.5% FS

（5）工控電腦及操作系統：

該系統人機界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，顯示器可直接顯示真空度、氣體流量、熱電偶溫度、電機旋轉速度等信息。

（7）其他參數：

1. 底座固定采用福馬輪旋轉方式，便于固定及移動；

2. 設備高度要求操作平臺離地高度700mm， 便于平臺操作。

3. 設備石英腔體內樣品支撐架及固定夾具托盤等相關備附件由乙方提供。