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殘余氣體分析儀Hicube RGA
上海伯東銷售維修德國 Pfeiffer 殘余氣體分析儀 HiCube RGA. 四極桿質譜 PrismaPro 與 HiCube 渦輪分子泵組的搭配, 質量數范圍 1-300, 高分辨率和靈敏度. 適用于殘余氣體分析, 過程監測, 泄漏檢測.

殘余氣體分析儀Hicube RGA 優勢
殘余氣體分析和氦氣泄漏檢測模式
可用于從大氣壓至高真空環境
高分辨率和靈敏度
通過真空壓力監測保護燈絲
進氣系統帶集成式切斷閥

Pfeiffer 殘余氣體分析儀 Hicube RGA 技術規格

渦輪分子泵組

HiCube? Eco

功耗

170W

電壓（范圍）

110 - 240 V; 50 / 60 Hz

氮氣抽速

67 l/s

前級泵在 50 Hz 時的泵送速度

1 m3/h

極限真空

<1X10-7hPa

真空計

 361

測量范圍

1X10-9至 1X103hPa

閥門

EVN 116

氣體流量

可調整, 自 5X10-6至 3X103hPa l/s

進氣口

DN 16 ISO-KF

PrismaPro

QMG 250 F1

QMG 250 F2

QMG 250 F3

QMG 250 M1

QMG 250 M2

QMG 250 M3

檢測器

法拉第 Faraday (F)

電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)

質量數 amu

1–100

1–200

1–300

1–100

1–200

1–300

四極桿直徑／長度

6 /125 mm

最小檢測極限 F hPa *1,2

4X10-13

5X10-13

7X10-13

-

-

-

最小檢測極限 M hPa *1,2

-

-

-

3X10-15

4X10-15

5X10-15

對Ar的靈敏度 F A/hPa*3

5X10-4

4X10-4

3X10-4

5X10-4

4X10-4

3X10-4

最大工作壓力 F hPa

5X10-4

最大工作壓力 M hPa

-

-

-

5X10-5

5X10-5

5X10-5

對臨近質量數的影響*1

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

操作溫度 分析

200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)

操作溫度 電子

5 – 50 °C

烘烤溫度 分析

300 °C

連接法蘭

DN 40 CF-F

保壓時間

1 ms – 16 s/amu

峰比值可重復性

± 0.5 %

接口

以太網

電源電壓

100–240 V AC，50/60 Hz

HiCube? RGA重量

25.5 - 26.2 kg


殘余氣體分析儀Hicube RGA 典型應用
殘余氣體分析: 對真空系統中殘余氣體的分析, 可以獲知在達到所需的最終壓力或調節要求時, 殘余物質的組成. 由此可以得出各種有關系統表面性質, 脫附行為, 純度和密封性以及工藝氣體成分的結論. 這將為您提供有關真空室或真空組件狀態的重要信息.

泄漏檢測: 上海伯東 Pfeiffer 殘余氣體分析儀 HiCube RGA 具有氦氣泄漏檢測模式, 可以通過軟件控制激活. 此功能可以方便您發現真空系統中的任何泄漏.

過程監控: HiCube RGA 可以在最大 300u 的測量范圍內隨時間觀察任意數量的選定質量強度, 并可對選定的各質量分配警報循環閾值. 如果它們高于或低于所需極限, 則可以通過數字輸出將信號提供給更高級別的控制系統. 因此殘余氣體分析儀 HiCube RGA 能夠提供實時過程觀察和控制功能. EVN 116 氣體計量閥還可以使真空系統中的壓力適應相應過程需求, 此外, 集成式切斷閥還允許對泄漏設定點進行快速開/關控制.

質量保證和過程優化: 諸如提供氣體成分定量測定, 確定過程氣體純度, 以及監測真空鍍膜過程相關氣體成分等能力, 殘余氣體分析儀 HiCube RGA 是過程記錄和質量保證中的重要工具. 即使測量正在執行, 所有測量值也會得到存儲, 并且可以在不停止測量的情況下追蹤. 即使仍在執行測量, 也可以導出測量結果以進行進一步分析.

若您需要進一步的了解殘余氣體分析儀詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式：
上海伯東: 葉小姐                                   
T: +86-21-5046-3511 ext 107          
F: +86-21-5046-1490                            
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 )      
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現部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯絡上海伯東 葉小姐 1391-883-7267
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詳情：

規格參數

  • 行業分類：

    儀器儀表/分析儀器/氣體分析儀

  • 產品類別：

    德國 Pfeiffer 氦質譜檢漏儀

  • 品　　牌：

    Pfeiffer

  • 規格型號：

    Hicube RGA

  • 庫　　存：

  • 生 產 商：

    Pfeiffer

  • 產　　地：

    中國上海市浦東新區

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