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Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 80
上海伯東銷售維修德國普發渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 80 抽速可達到 71 l/s 高性能渦輪分子泵. HiPace 80 對所有氣體的高抽速和更高壓縮比使其廣泛應用于真空行業. 集成驅動電路, 適用于工業環境, 通過保護等級 IP54, 半導體 S2, UL / CSA 認證. 通過控制器監控運算數據盡可能保證分子泵的安全性. 渦輪分子泵 HiPace 80 可以任意位置安裝. 自然風冷, 多種配件可選滿足廣泛應用.
渦輪分子泵HiPace 80 特性
穩健性工業設計和經過實踐證明的高可靠性分子泵軸承系統
結構緊湊, 滿足更小的安裝空間要求
分子泵高氣流量和高抽速
基本款任意角度安裝
防護等級 IP 54, 符合工業環境要求
可應用于腐蝕性氣體工藝
分子泵通過 SEMI S2 和 UL 認證
渦輪分子泵 HiPace 80 技術參數
進氣口 | DN 63 ISO-K | DN 63 CF-F | DN 40 ISO-KF | DN 63 ISO-K | DN 63 CF-F | DN 40 ISO-KF | |
圖片 |
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分子泵控制器 | 型號 | 標配 | 標配 | 標配 | 選配 | 選配 | 選配 |
抽速 | Ar L/S | 66 | 66 | 30 | 66 | 66 | 30 |
H2L/S | 48 | 48 | 38 | 48 | 48 | 38 | |
He L/S | 58 | 58 | 41 | 58 | 58 | 41 | |
N2L/S | 67 | 67 | 35 | 67 | 67 | 35 | |
壓縮比 | Ar | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 |
H2 | 1.4X105 | 1.4X105 | 1.4X105 | 1.4X105 | 1.4X105 | 1.4X105 | |
He | 1.3X107 | 1.3X107 | 1.3X107 | 1.3X107 | 1.3X107 | 1.3X107 | |
N2 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | |
全轉速時氣體流量 | Ar hPa l/s | 0.54 | 0.54 | 0.54 | 0.54 | 0.54 | 0.54 |
H2 hPa l/s | 15.3 | 15.3 | 15.3 | 15.3 | 15.3 | 15.3 | |
He hPa l/s | 2.7 | 2.7 | 2.7 | 2.7 | 2.7 | 2.7 | |
N2 hPa l/s | 1.3 | 1.3 | 1.3 | 1.3 | 1.3 | 1.3 | |
極限壓力 | hPa | ＜1X10-7 | ＜5X10-10 | ＜1X10-7 | ＜1x10-7 | ＜5x10-10 | ＜1x10-7 |
最大預抽真空 | N2 | 22 | 22 | 22 | 22 | 22 | 22 |
電壓 | VDC | 24 | 24 | 24 | 24 | 24 | 24 |
最大電流 | A | 4.6 | 4.6 | 4.6 | 5.5 | 4.6 | 4.6 |
轉速± 2 % | RPM | 90000 | 90000 | 90000 | 90000 | 90000 | 90000 |
聲噪 | dB(A) | ≤48 | ≤48 | ≤48 | ≤48 | ≤48 | ≤48 |
允許最大磁場 | mT | 3.3 | 3.3 | 3.3 | 3.3 | 3.3 | 3.3 |
啟動時間 | min | 1.7 | 1.7 | 1.7 | 3 | 3 | 3 |
重量 | kg | 2.4 | 3.8 | 2.4 | 2.1 | 3.5 | 2.1 |
* 控制器選擇 TCP 350, 可以使分子泵在輻射環境中使用
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接口電纜, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m
分子泵應用HiPace 80
分析儀器: 電子顯微鏡, 檢漏, 小型質譜, 表面分析, 殘余氣體分析
半導體: PVD, inspection, bonding, MBE, load-locks
工業: 醫學技術, 工業檢漏, 隔離真空, 燈管制造
研發: 核研究, 等離子研究, 粒子加速器, 冷凍研究, 納米技術, 生物技術
上海伯東客戶分子泵應用一：HiPace 80, HiPace 400 用于分子束外延 MBE, 主要針對金屬薄膜及材料器件的氧化物外延生長.
上海伯東客戶分子泵應用二：HiPace 80, HiPace 300 用于SPECS 近常壓光電子能譜儀設備.JPG)
上海伯東客戶分子泵應用三: HiPace 80, HiPace 300 用于自主搭建真空腔體.JPG)
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規格參數
行業分類：
機械及行業設備/泵/真空泵
產品類別：
德國 Pfeiffer 真空泵
品 牌：
Pfeiffer
規格型號：
HiPace 80
庫 存：
生 產 商：
Pfeiffer
產 地：
中國上海市浦東新區
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